无尘车间究竟有什么用途?
无尘车间主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘车间。
无尘车间有什么标准?
无尘车间可以分为以下几个级别:1级、百级、千级、万级、十万级、30万级、。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,无尘净化工程单位,就达到了国际无尘标准还高。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称级别中的千级。
洁净风管的制作、搬运、安装是确保
洁净度的关键
许多施工员在施工中都会注意到洁净系统安装的特殊要求,无尘净化工程设计施工,即:安装部位清洁;系统安装清洁(塑料膜封口);场地、安装人员着衣干净;选用不产尘的材料;接缝处应严密,防止漏风等。但仍有几点要注意:
接缝:不允许管道有横向接缝,纵向接缝也应尽量少,当底边小于等于mm时,底边也不许有纵向接缝;
咬口:应尽量采用联合角或转角咬口,无尘净化工程,6级以上的洁净风管不得使用按扣式咬口;
密封:所有咬口缝、法兰翻边及铆钉处必须涂密封胶防止漏风;各种密封垫严禁表面涂刷涂料;
加固筋:不许设在管内;
单向流洁净室一般有两种类型,即水平流和垂直流。在水平流系统中,气流是从一面墙流向另一面墙。在垂直流系统中,气流是从吊顶流向地面。对要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合,就使用单向气流。以前称这类洁净室为“层流”洁净室。单向流和层流的名称均说明了其气流的状况:气流以一个方向流动(或是垂直的或是水平的),并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分钟至100英尺/分钟)的均速流过整个空间。由满布洁净室吊顶的过滤器向室内送风。
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